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产品介绍: 半导体工厂用 产品特点: 采用定电位电解式传感器,对被测气体具有选择性。 高检测灵敏度。 能检测很多种类的半导体特气。 液晶数字显示。※关于其它气体请垂询.
一、型号: XD-303AH 检测对象气体: 砷烷 (ASH3) 检 测 范 围: 0~1ppm 、 0~0.2ppm 最 小 刻 度: 0.1ppm 、0.01ppm 采 样 方 式: 自动吸引式 应 答 速 度: 60%应答40秒 二、型号: XD-303PH 检测对象气体: 磷烷 (PH3) 检 测 范 围: 0~1ppm 、 0~0.3ppm 最 小 刻 度: 0.1ppm 、0.01ppm 采 样 方 式: 自动吸引式 应 答 速 度: 60%应答40秒 三、型号: XD-303BH 检测对象气体: 乙硼烷 (B2H6) 检 测 范 围: 0~1ppm 最 小 刻 度: 0.1ppm 采 样 方 式: 自动吸引式 应 答 速 度: 60%应答40秒 四、型号: XD-303 检测对象气体: 其它 检 测 范 围: 因规格而异 最 小 刻 度: . 采 样 方 式: 自动吸引式 应 答 速 度: 60%应答40秒
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