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  商品详细信息
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◆  产品编号:p0017755
◆  产品名:X61-1112K-1型数控精密研磨机
◆  品  牌:
 
 
>>X61-1112K-1型数控精密研磨机
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  产品详细介绍
产品用途:
    该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨。
精度指标:
l 主机精度:
1. 下研磨盘端跳: 0.04mm
2. 上下研磨盘平面度:0.015mm
3. 太阳轮径向跳动:0.08mm
4. 齿圈径向跳动:0.15mm
l 加工精度(四个修平器研后)
1. 一致性 0.008mm
2. 平面度 0.004mm
3. 平行度 0.005mm
  技术参数
主要特点及优点:
1. 采用三个伺服电机同步拖动,变速范围更广,运动精度更高,响应速度更快,能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求,实现了软启动、软停止,调速稳定,冲击小;
2. 太阳轮与内齿圈同步抬升,满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求;
3. 下研盘主轴采用交叉滚子轴承支撑,既可承受轴向力、径向力,又可克服倾覆力矩,保证了下研盘的静态和动态的精度;
4. 上下研磨盘采用斜齿轮传动,运转平稳;
5. 控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色终端等先进技术,系统的响应速度更快、更精确,并具有远程监控,远程维护功能;
6. 压力采用电—气比例阀与拉力传感器闭环反馈控制, 压力过程实现了线形转换;
7. 安装了可行走式地脚,方便了设备搬移;
8. 采用集中润滑装置,各相对运动表面、齿轮啮合部位都可得到充分润滑,大大提高了整机的使用寿命;
9. 上盘采用z新的“浮动”连接装置,解决了错盘问题;
10. 在研磨盘系统中采用了具有创新性的循环冷却结构,以达到冷却下研盘的目的,防止因热变形而影响下研盘的精度,此项功能还兼顾了用户把研磨机作为抛光机使用的要求(选配组件)。
研磨盘尺寸mm Φ1122ΧΦ390Χ6
游星轮参数(英制) 齿数Z=200 模数DP12
游星片数量 5片
最小研磨厚度 0.50mm/φ150 mm 0.40mm/φ125mm 0.30mm/φ100mm 0.25mm/φ75mm
z大研磨厚度mm 30mm

理想研磨直径 125/25片
z大研磨直径 φ350 mm
下研磨盘转速 0~60rpm
上下研磨盘驱动电机 15kW AC380V 1460rpm
齿圈驱动电机 4kW AC380V 1420rpm
太阳轮驱动电机 1.5kW AC380V 1410rpm
气源 0.5~0.6MPa
外形尺寸(长× 宽 × 高): 2350mm× 1550mm × 3230mm
重量 约5000Kg
  订货信息
货号 名称 规格 备注 市场价 现在销售价 是否现货 购买
c0049397 X61-1112K-1型数控精密研磨机 最小研磨厚度:0.50mm/φ150 mm 该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨。
询价 现货
  联系方式
 

订货电话:021-65682142、65683854、65688364。服务热线:servers@shuoguang.com 

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