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  商品详细信息
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◆  产品编号:p0020314
◆  产品名:X62-305-1型二氧化硅抛光机
◆  品  牌:
 
 
>>X62-305-1型二氧化硅抛光机
>> 购买此产品请拨打购买热线:021-65682142、021-65683854、021-65688364,服务热线:servers@shuoguang.com
  产品详细介绍
本机主要适用于直径100mm以下硅片的单面抛光,也可用于其它片状零件的单面抛光。
加工能力:
单头承片量:(2″)20片   (3″)8片   (4″)5片
整盘承片量:(2″)80片   (3″)32片   (4″)20片
  技术参数
1. 本机适应了近几年半导体材料加工的新工艺,体现了机械工业的技术进步。设备运转平稳、使用可靠、操作方便。
2. 主传动采用变频调速,启动、停止平稳。
3. 主抛盘采用水冷却,冷却方式的内部结构做了明显改进。
4. 红外(进口)测温、控温。
5. 抛光过程分三个阶段(三阶段时间控制自动切换)。
(1) 阶段一:通抛光液,抛光压力为抛头自重。
(2) 阶段二:通抛光液,抛光压力为抛头自重加汽缸压力。
(3) 阶段三:通入离子水,抛光压力为抛头自重。
6. 配冲洗喷头。
7. 主要气动、电器配套件均为进口。
8. 承片盘为氧化铝陶瓷。
9. 抛光头升、降、加压采用气动转阀并四头分别控制。汽缸内有可靠的缓冲装置
10. 主传动采用蜗轮蜗杆传动。

  订货信息
货号 名称 规格 备注 市场价 现在销售价 是否现货 购买
c0067740 X62-305-1型二氧化硅抛光机 抛光盘直径: φ820mm
主传动采用变频调速,启动、停止平稳。
询价 现货
  联系方式
 

订货电话:021-65682142、65683854、65688364。服务热线:servers@shuoguang.com 

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开户名称:上海硕光电子科技有限公司
帐号:31001544900050000568
开户行:建行五角场支行
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