该设备主要适用于半导体材料如硅片、陶瓷、玻璃等其它硬脆材料的高速高精度多片切割加工;主要适用于3"~6"硅片的高速高精度多片切割加工。
1、 该设备具有精密温度控制系统,切片精度高,翘曲度小,切片质量稳定,切割成本小的特点; 2、 特殊的工作台设计,切割效率高,可满足不同切割加工工艺的要求; 3、该设备采用微型计算机控制系统,具有同步自动控制运动功能,又具有手动控制功能。 4、在自动切割模式下按启动键可完成自动绕线和对工件的自动切割;在准备模式下通过人机界面触摸屏菜单可单独完成对工件的切割;在以上模式下运行,设备运行过程中可对设备下一工作过程的有关参数进行调整。 5、张力控制采用闭环反馈控制方式,保证了切割过程中切割线张力的恒定。 6、使用偏差传感器控制切割线的偏差,确保在切割时切割线的偏差恒定。 7、切割结束后自动清洗工件。 技术指标
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