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本机主要使用于6英寸以下硅片双面精密研磨加工,同时用于石英晶片、宝石片、玻璃陶瓷片及其它硬脆材料的双面研磨加工。精度指标●主机精度1.下研磨盘端跳:0.08mm2.上下研磨盘平面度:0.02mm3.太阳轮径向跳动:0.10mm4.齿圈径向跳动:0.18mm●加工精度(四个修正轮修研后)1.一致性:±0.008 mm2.平面度:0.004 mm3.平行度:0.006 mm
订货电话:021-65682142、65683854、65688364。服务热线:servers@shuoguang.com
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