自动压强控制器 采用ZJ-10电离规和压电阀作为测量和控制元件，适用于真空焊接、度膜和气相沉积等工艺设备中的压强测量及自动控制。
技术指标：
测量及控制范围：13～1/10000Pa
压电阀漏气速度：≤1.3×10-9pa.m3/sec
压电阀z大流量：≥0.33pa.m3/sec
自动控制精度：±1.5%
自动记录信号输出：0-100mA
电源：AC220V±10% 50Hz
BY-1/1K 配一个压电阀，HY-2/2K 配三个压电阀
BY-1/2为台式 HY-2/2K为开关板式
体积重量：119×320×280(mm)15kg板式；182×440×440(mm)15kg台式
SSK1/1K真空自动控制仪
本仪器适用于要求压强范围为20～1×10-4Pa的压强测量与压强恒定控制，采用两只ZJ-10电离规定管，工作时间可监测前级泵。
技术指标：
测量及控制范围：13～1×10-4Pa
压电阀漏气速度：≤2.6Pa.m3/sec
压电阀z大流量：≥1×10-8Pa.m3/sec
自动控制精度：±1.5%(满度)
配压电阀型号数量：YD-3D一支
型式：SSK-1型台式数字显示，SSK-1K型板式数字显示
电源：AC220V±10% 50Hz
体积重量：139×440×320(mm)10kg台式 |
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